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第三百九十三章 需求的技术 (第3/5页)
将空气电离了,更别说液体。 这种情况下大本营之外的当然还是duv,但蓬来上本来就是王易亲自打造的镜片配套的euv光刻体系。 结构上和以前的duv都还相当类似,完全成熟的技术。 不像阿斯麦的euv光刻机因为没有可以让极紫外线通过的镜头,需要使用反射,能量损失极为严重,每次反射都要浪费30%左右,最终只有2%的利用率。 体积增大的同时光源的高功率还需要配套冷却系统,几乎是相当于完全新开一条赛道了。 所以其实王易这边的euv光刻机出来的还要更早,而且效率和良品率也要远超! “可是他们也有euv了呀,硅基芯片的物理极限都快到了,老板,人家要升级嘛~” 林诗琴的话也让王易有些无语。 她应该能够知道,王易在量子计算的提升上对她是有一定限制的。 毕竟量子计算的算力指数加成,配合王易的新公式算法,很容易导致失控。 但经典计算机的算力提升,王易肯定还是不会给她什么制约的。 euv光刻机,分辨率远远超过了duv光刻机。 采用的是13.5nm波长,已经接近x射线的极紫外线, 理论上已经能达到硅基芯片的极限! 要知道单个的硅原子也就是0.12nm,还要考虑电子隧穿效应,所以目前正常的观点中,1nm差不多就是硅基芯片的极限了。 当然,当初20nm的时候隧穿效应就已经出现,通过结构调整解决的,说不定等到1nm工艺后又找到了解决办法。 可即便这样,0.12nm的硅原子大小也摆在这里,总不可能把原子分开。 这种情况下,所需要考虑
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